Trung Quốc đã bắt đầu sản xuất hàng loạt máy quang khắc DUV ngâm (immersion DUV) do nước này tự phát triển. Đây là một trong những thiết bị quan trọng nhất trong chuỗi sản xuất chip bán dẫn tiên tiến Xem thêm