Ba “ông lớn” ngành chip đặt cược vào công nghệ mới của ASML
ASML đã nhận được cam kết sử dụng thế hệ máy sản xuất chip mới nhất từ 3 tập đoàn đầu ngành gồm Samsung Electronics, TSMC và Intel.
ASML hiện là doanh nghiệp duy nhất trên thế giới có khả năng sản xuất máy quang khắc EUV, thiết bị không thể thiếu để chế tạo các bộ xử lý AI tiên tiến. Công ty Hà Lan bắt đầu thương mại hóa máy EUV thế hệ trước vào năm 2019 và đang thúc đẩy khách hàng chuyển sang công nghệ High NA.
Cụ thể, Samsung dự kiến áp dụng máy quang khắc High NA EUV để sản xuất hàng loạt chip nhớ từ năm 2028. TSMC - nhà sản xuất chip theo hợp đồng lớn nhất thế giới - sẽ bắt đầu sử dụng thiết bị này từ năm 2030. Trong khi đó, Intel đã tiếp nhận và vận hành máy High NA EUV.
Mỗi hệ thống có giá khoảng 400 triệu USD. Đây là thế hệ máy quang khắc tiên tiến nhất của ASML, cho phép tạo ra các chi tiết nhỏ hơn trên tấm silicon, qua đó hỗ trợ sản xuất chip có hiệu suất cao hơn.

ASML, Samsung, TSMC và Intel cũng thống nhất nghiên cứu chuyển từ mặt nạ quang khắc 6 inch hiện nay sang loại 12 inch.
Mặt nạ quang khắc chứa các mẫu thiết kế mạch điện. Máy EUV sẽ dùng ánh sáng chiếu qua các mẫu này để in cấu trúc chip lên tấm silicon. Có thể hình dung bộ phận này giống một khuôn in, nhưng sử dụng ánh sáng thay vì mực.
Theo Giám đốc công nghệ ASML Marco Pieters, mặt nạ 12 inch có thể giúp năng suất của máy High NA tăng khoảng 40%, đồng thời đơn giản hóa thiết kế và giảm chi phí sản xuất chip.
Việc chuyển đổi từng bị đánh giá là phức tạp và tốn kém. Tuy nhiên, nhu cầu chip phục vụ trung tâm dữ liệu AI tăng mạnh đang buộc ngành bán dẫn tìm cách nâng công suất.
TSMC sẽ sử dụng máy High NA với mặt nạ 6 inch từ năm 2030. Hai công ty dự kiến xây dựng dây chuyền thử nghiệm mặt nạ 12 inch vào năm 2031 và đưa công nghệ này vào sản xuất từ năm 2033.
Trước đây, TSMC khá thận trọng vì cho rằng giá máy High NA quá cao so với mức cải thiện năng suất. Việc doanh nghiệp Đài Loan thay đổi quan điểm được xem là bước tiến quan trọng đối với ASML, bởi TSMC đóng góp khoảng 16% doanh thu của hãng thiết bị Hà Lan.
Samsung sẽ ứng dụng High NA trước tiên trong sản xuất chip nhớ. Nhu cầu lớn từ các trung tâm dữ liệu AI đang khiến nguồn cung chip nhớ toàn cầu trở nên khan hiếm và đẩy giá linh kiện điện tử tăng lên.
Theo ASML, số lớp chip cần sử dụng công nghệ High NA sẽ tiếp tục tăng khi các nhà sản xuất chuyển sang những tiến trình tiên tiến hơn. Cam kết từ Samsung, TSMC và Intel vì vậy có thể mở đường để thế hệ máy trị giá 400 triệu USD trở thành tiêu chuẩn mới trong ngành bán dẫn./.
Nguồn tham khảo: Bloomberg
